TESCOM 64-3600 系列高灵敏度调压器

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64-3600 系列超高纯度、高灵敏度减压型调压器提供低压降、束缚阀膜设计，具备 10Ra/0.25 微米表面光洁度以及可选的 Hastelloy® 阀内件。入口压力为 600 或 3500psig（41.4bar 或 241bar），出口压力可高达 150psig (10.3bar)。非常适合用于 1/4" 使用点、气瓶柜、半导体制造和阀箱。

Features

内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米
阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供一流的密封性
内部经全面电解抛光处理
旨在减少半导体气体系统中的压力波动
满足严苛的半导体行业的使用点和
气瓶应用要求

Specifications

额定压力	最大进口压力：600 或 3500psig/41.4 或 241bar <br>出口压力范围：30、60、100、150psig/2.1、4.1、6.9、10.3bar
阀体材质	经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
膜片	Hastelloy®
阀座	PCTFE、PTFE PFA® 或 Vespel®
阀杆和阀弹簧	316 不锈钢
其他部件	316 不锈钢或 Hastelloy®
工作温度	Teflon® PFA 阀座：-40 至 160°F/-40 至 71°C<br>Vespel® 阀座：-40 至 350°F/-40 至 177°C<br>PCTFE 阀座：-40 至 140°F/-40 至 60°C<br>
端口尺寸和类型	1/4、1/2 <br>外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC <br> 1/4 管接头
流通能力	Cv = 0.15 或 0.06
重量	0.9kg/2lb

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