12 系列是一种微型超高纯度工业气体 (IGS)/VCR® 减压型调压器。12 系列提供 5Ra 或 10Ra 微英寸的光洁度，采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。进口压力为 150psig/10.3bar，出口压力为 250mm Hg-15、30、60、100psig/250mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9bar，流速可达 120SLPM。非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。
Features
适用于高级 OEM 气体系统的理想产品
高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能
在广泛应用中提供优越性能
流量：2SCFM 至 120SLPM
在微型元件中提供出色的压降和重复性
膜片与阀体之间采用金属对金属设计，实现一流的密封性
内部表面光洁度为 10Ra 或 5Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格
Specifications
| 额定压力 | 最大入口压力：<br>150psig/10.3bar<br><br>最大出口压力：<br>250mm Hg-15psig/250mm Hg-1.0bar<br>0-30、0-60、0-100psig/0-2.1、0-4.1、0-6.9bar |
| 材质 | 阀体：316L VAR 不锈钢<br>阀膜：Hastelloy®<br>阀座：PCTFE<br>阀杆：Hastelloy®<br>其他部件材质：316L VAR 不锈钢 |
| 工作温度 | -40°C 至 60°C/-40°F 至 140°F |
| 连接 | 焊接接头：1/4 VCR® 或管接头<br>表面安装：1.125 或 1.50 占用空间 |
| 流通能力 | 标准：Cv = 0.04<br>高流量：Cv = 0.08 |
| 重量 | VCR®、IGS：0.60lb/0.3kg<br>A 型：1.08lb/0.5kg |
